設(shè)備簡(jiǎn)介
KC3110功率半導(dǎo)體高精度靜態(tài)特性測(cè)試系統(tǒng),基于全新三代半SiC, GaN器件和模塊以及車規(guī)級(jí)模塊的新興要求而進(jìn)行的一次高標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品開發(fā)。本系統(tǒng)可以在3KV和1000/2000A的條件下實(shí)現(xiàn)精確測(cè)量和參數(shù)分析,漏電流測(cè)試分辨率高達(dá)fA級(jí),電壓測(cè)試分阱率最高可這nV級(jí),以及3000V高壓下的寄生電容的精密測(cè)量。全自動(dòng)程控軟件,圖型化上位機(jī)操作界面。內(nèi)置開關(guān)切換矩陣保證測(cè)試效率。模塊化結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)預(yù)留升級(jí)擴(kuò)展?jié)撃?。測(cè)試接口可外掛各類夾具和適配器,還能夠通過專用接口連接各種Handler:如分選機(jī)、機(jī)械手、探針臺(tái)、編帶機(jī)等。
適用產(chǎn)品
可測(cè)Si, SiC, GaN材料的IGBTs, DIODEs, LED, MOSFETs, BJTs, HEMTs, 電容,光耦,
參考標(biāo)準(zhǔn)
IEC 60747-8/9 半導(dǎo)體分立器件第8/9部分/JEDEC標(biāo)準(zhǔn)
設(shè)備特點(diǎn)
KC-3110系 統(tǒng) 包 含 : 硬 件 平 臺(tái) + 實(shí) 時(shí) 軟 件 , 可 測(cè) 試 靜態(tài)特性、IV 曲線、容阻測(cè)試(Rg、Cxss)、CV 曲線;,主要特點(diǎn)如下:
適用于功率器件、功率模塊直流特性分析,最高可達(dá)3000V/1000A在高達(dá)3000V直流偏置下,完全自動(dòng)化的電容( Ciss、 Coss、Crss等)測(cè)量;
高效率:內(nèi)置開關(guān)矩陣,自動(dòng)切換測(cè)量單元,提高生產(chǎn)測(cè)試效率;
模塊化:根據(jù)測(cè)試需求搭配不同規(guī)格測(cè)量單元。
在線高低溫箱:選裝-50℃~﹢150℃(最高 200℃)專用高精度實(shí)時(shí)在線高低溫箱,支持 48 工位和 98 工位。圓形旋轉(zhuǎn)盤,溫度均勻性優(yōu)秀選配溫控模塊也可與第三方溫箱實(shí)現(xiàn)聯(lián)動(dòng)控制。
具備數(shù)據(jù)管理功能,上位機(jī)可實(shí)現(xiàn)數(shù)據(jù)曲線、報(bào)告及自動(dòng)保存;
IV曲線:2K點(diǎn)以內(nèi)的 IV 曲線實(shí)時(shí)掃描;
CV曲線:柵電阻 Rg、反向傳輸電容 Cres、輸入電容 Cies、輸出電容 Coes、CV 曲線
軟件界面
軟件功能完備并高可擴(kuò)展性,基于LINUX平臺(tái)開發(fā),穩(wěn)定高效、配備工控機(jī)。 保存與記錄試驗(yàn)數(shù)據(jù).
數(shù)據(jù)管理功能完整,具有操作界面與上位機(jī),可實(shí)現(xiàn)數(shù)據(jù)自動(dòng)保存與生成測(cè)試報(bào)告
技術(shù)參數(shù)